三星电子首次采用韩国本土EUV光刻胶用于一条工艺线
2022-12-05 16:33来源：TechWeb 阅读量：5904
据外媒报道，三星电子在经历了2019年与日本光刻胶的供应风波后，正试图将关键原材料的供应本地化3年后，他们在极紫外光致抗蚀剂方面也取得了进展
据国外媒体报道，三星电子首次将韩国本土公司靳东视美健的紫外线光刻胶用于他们的一条半导体工艺线。
外媒报道显示，在日本限制出口，三星电子试图重组极紫外光刻胶的供应链之后，靳东视美肯开始研发极紫外光刻胶，并于去年通过了三星电子的可靠性测试不到一年，三星电子就在他们的一条生产线上使用了它
不过，外媒在报道中也提到，与三星电子的整体生产线相比，靳东视美肯的极紫外光刻胶只是一条工艺线中的一小部分，但对于一条此前完全依赖进口的原材料被用在一条工艺线中，也具有特殊的意义。
由于与海外供应商的关系等多重因素，目前尚不清楚三星电子是否会将靳东视美肯的紫外线光刻胶用于更多的工艺线。
此外，外媒在报道中还提到极紫外光刻胶可用于3—50制程目前，还不确定靳东视美肯光刻胶将采用哪种工艺
当然，外媒在报道中也提到，虽然靳东世美肯目前向三星电子供应的极紫外光刻胶供应量并不大，但他们的极紫外光刻胶性能有望决定未来供应量是否会增加。
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责任编辑：燕梦蝶
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